| الاستشعار: | مستشعر كفاف من النوع الرقمي ومستشعر خشونة قياسي بدون رأس | البرمجيات: | نظام قياس كفاف CMS ونظام قياس وتحليل خشونة السطح RMW |
|---|---|---|---|
| مقدم الطلب: | محمل ذراع مفصلي ، كريستال الجرمانيوم البصري ، حلقة الختم ، ختم توربو إلخ | دقة الكفاف: | ± 2' |
| خشونة: | Rsk، Rku، Rsm، Rsm، Rs، RΔq، Rk، Rpk، Rvk، Mr1، Mr2، Rmr | طول التقييم: | φcX2,3,4,5,6,7 |
| X- المحور: | 0.1 ~ 10 مم / ثانية | محور z: | 0.5-10 ملم/ثانية |
| إبراز: | 10 مللي متر / ثانية أداة قياس الكفاف,أداة قياس خشونة Rsk,أداة قياس الخشونة Rku |
||
| المواصفات | PR1103G-sdk |
|---|---|
| نطاق القياس محور X | 100ملم |
| نطاق القياس محور Z | 320ملم |
| نطاق القياس على محور Z1 | C:±12.5mm/R:±420μm |
| دقة المحيط Z1 دقة خطية | ± ± 1.5+ 0.2H |
| دقة القوس | ± ((2+R/8) μm |
| دقة الزاوية | ± 2 |
| التوالي | 0.8μm/100mm |
| الخامة الدقة الدقة الخطية | ± 4% |
| الضوضاء المتبقية | ≤0.02μm |
| القيمة المزدوجة | 1δ≤2nm |
| طول الموجة الحد | 0.02500802508، 2.5, 8ملم |
| طول التصنيف | λcX2،3,4,5,6,7 |
| سرعة القيادة محور X | 0.1~10mm/s |
| سرعة القيادة محور Z | 0.5-10ملم/ثانية |