| اسم المنتج: | نظام قياس مقياس التداخل بالليزر SJ6000 | نطاق القياس الخطي: | 0 ~ 80 م |
|---|---|---|---|
| دقة: | 1 نانومتر | دقة تردد الليزر: | 0.05 جزء في المليون |
| درجة حرارة التشغيل:: | (0-40) ℃ | معدل الالتقاط الديناميكي:: | 50 كيلو هرتز |
| إبراز: | مقياس التداخل الليزري أحادي التردد,أجهزة قياس 0.05 جزء في المليون,أجهزة قياس الدقة 1 نانومتر |
||
يُعتبر مقياس التداخل بالليزر طريقة قياس عالية الدقة وحساسية عالية تستخدم طول الموجة الضوئية كمعيار ، وتستخدم على نطاق واسع في مجالات التصنيع الراقية.يحتوي نظام التداخل الليزر SJ6000 على مولد ليزر هليوم نيون عالي التردد من مورد أمريكي، وحدات التعويض البيئي عالية الدقة، معالجة إشارات تدخل الليزر المتقدمة، ونظام تحكم كمبيوتر عالي الأداء.
باستخدام تكنولوجيا استقرار التردد الحراري من وضع ليزر طولي مزدوج والمعايير الهندسية تصميم المسار البصري التداخل، SJ6000 يوفر على المدى الطويل مستقرة، دقة عالية.05ppm) إنتاج الليزر بسرعة (حوالي 6 دقائق) مع أداء قوي لمكافحة التداخل. مع وحدات prism مختلفة يمكن أن تقيس خطية، الزاوية، المباشرة، السطحية،عمودية، وتحليل الخصائص الديناميكية
| المعلم | المواصفات |
|---|---|
| طريقة القياس | تردد واحد |
| دقة تردد الليزر | 0.05 جزء في المئة |
| معدل التقاط الديناميكي | 50 كيلو هرتز |
| وقت التسخين | حوالي 6 دقائق |
| درجة حرارة العمل | (0-40) درجة مئوية |
| ظروف البيئة | درجة الحرارة: (0-40) °C، الرطوبة: 0-95% |
| درجة حرارة التخزين | -20°C إلى 70°C |
| نوع جهاز الاستشعار | المواصفات |
|---|---|
| مستشعر درجة حرارة الغلاف الجوي | ±0.1°C (0-40)°C، الدقة: 0.01°C |
| مستشعر درجة حرارة المواد | ±0.1°C (0-40)°C، الدقة: 0.01°C |
| جهاز استشعار الرطوبة الجوية | ± 5% (0-95%) |
| مستشعر الضغط الجوي | ± 0.1kPa (65-115) kPa |
| المعلم | المواصفات |
|---|---|
| نطاق القياس | (0-80) م |
| دقة القياس | 0.5ppm (0-40) °C |
| دقة القياس | 1nm |
| سرعة القياس القصوى | 4m/s |
| المعلم | المواصفات |
|---|---|
| النطاق المحوري | (0-15) م |
| نطاق القياس | ± 10 درجة |
| الدقة | ±(0.02%R+0.1+0.24M) ′′ (R يشير إلى القيمة ، الوحدة: ′′ ؛ M هو الطول المقاس في متر) |
| دقة القياس | 0.1′′ |
| المعلم | المواصفات |
|---|---|
| النطاق المحوري | (0-15) م |
| نطاق قياس السطوح | ± 1.5 ملم |
| الدقة | ±(0.2%R+0.02M2) μm (R يشير إلى القيمة في μm؛ M هو الطول المقاس في m) |
| حجم القالب | 180ملم قابل للتعديل، 360ملم قابل للتعديل |
| دقة القياس | 0.1 ميكرومتر |
| النوع | نطاق المحور | نطاق القياس | الدقة | القرار |
|---|---|---|---|---|
| المباشرة القصيرة | (0.1-4) م | ±3.0 ملم | ± ((0.5+0.25%R+0.15M2) μm | 0.01μm |
| طول المستقيم | (1-20) متر | ±3.0 ملم | ± ((5.0+2.5%R+0.015M2) μm | 0.01μm |
| النوع | نطاق المحور | نطاق القياس | الدقة | القرار |
|---|---|---|---|---|
| المباشرة القصيرة | (0.1-3) م | ±3.0 ملم | ± 2.5 + 0.25%R + 0.8M) μm/m | 0.01μm |
| طول المستقيم | (1-15) م | ±3.0 ملم | ± ((2.5 + 2.5%R + 0.08M) μm/m | 0.01μm |