0.05 جزء في المليون نظام قياس مقياس التداخل بالليزر بدقة 1 نانومتر

1. طريقة القياس: تردد واحد

1. مستشعر درجة حرارة الغلاف الجوي: ± 0.1 ℃ (0-40) ℃ ، الدقة: 0.01 ℃

2. دقة تردد الليزر: 0.05 جزء في المليون

2. مستشعر درجة حرارة المواد: ± 0.1 ℃ (0-40) ℃ ، الدقة: 0.01 ℃

3. معدل الالتقاط الديناميكي: 50 كيلو هرتز

3. مستشعر رطوبة الغلاف الجوي: ± 5٪ (0-95٪)

4. وقت الاحماء: حوالي 6 دقائق

4. حساس الضغط الجوي: ± 0.1kPa (65 ～ 115) kPa

5. درجة حرارة التشغيل: (0-40) ℃

6. درجة حرارة البيئة: (0-40) ℃ ، الرطوبة: 0-95٪

7. درجة حرارة التخزين: -20 درجة مئوية -70 درجة مئوية

1. نطاق القياس: (0-80) م

1. المدى المحوري: (0-15) م

2. دقة القياس: 0.5 جزء في المليون (0-40) ℃

2. نطاق القياس: ± 10 درجة

3. قياس القرار: 1nm

3. الدقة: ± (0.02٪ R + 0.1 + 0.24M) ″ (R تشير إلى القيمة ، الوحدة: ″ ؛ M تقاس الطول بالمتر)

4. أقصى سرعة قياس: 4 م / ث

4. دقة القياس: 0.1 ″

1. المدى المحوري: (0-15) م

2. نطاق قياس التسطيح: ± 1.5 مم

3. الدقة: ± (0.2٪ R + 0.02M2) μm (R تشير إلى القيمة بالميكرومتر ؛ M تقاس الطول بالمتر)

4. حجم الركيزة: 180mm قابل للتعديل ، 360mm قابل للتعديل

5. دقة القياس: 0.1μm

استقامة قصيرة

(0.1-4) م

± 3.0 ملم

± (0.5 + 0.25٪ ر + 0.15 م 2) ميكرومتر

0.01 ميكرومتر

استقامة طويلة

(1-20) م

± 3.0 ملم

± (5.0 + 2.5٪ ر + 0.015 م 2) ميكرومتر

0.01 ميكرومتر

ملاحظة: R تشير إلى القيمة بالميكرومتر ؛م يقاس الطول بالمتر

استقامة قصيرة

(0.1-3) م

± 3.0 ملم

± (2.5 + 0.25٪ ر + 0.8 م) ميكرومتر / م

0.01 ميكرومتر

استقامة طويلة

(1-15) م

± 3.0 ملم

± (2.5 + 2.5٪ ر + 0.08 م) ميكرومتر / م

0.01 ميكرومتر

ملاحظة: R تشير إلى القيمة بالميكرومتر ؛م يقاس الطول بالمتر