بدأ تطوير آلة قياس الإحداثيات ثلاثية الأبعاد (CMM) في منتصف القرن العشرين مع إدخال CMM اليدوي.

هذه الآلات اليدوية استخدمت مسبارات لقياس الأجسام الفيزيائية وتسجيل إحداثيات النقاط يدوياًتطورت أجهزة القياس إلى أجهزة مساعدة من الكمبيوتر التي تعمل على أتمتة عملية القياس، تحسين الدقة والكفاءة.

اليوم ، تم تجهيز CMM ثلاثية الأبعاد الحديثة بميزات برمجيات وجهازية متقدمة مثل أنظمة المسح اللمسية ومسحات الليزر وبرامج لتحليل البيانات والنمذجة والهندسة العكسية.يتم استخدام CMM ثلاثية الأبعاد على نطاق واسع في مختلف الصناعات مثل الطيران والفضاء، السيارات، والتصنيع لمراقبة الجودة، والتفتيش، وعمليات الإنتاج.